| 图片 | 品牌 | 名称 | 货号 | 规格 | 赛恩斯价 | 库存 | 货期 | 购买 |
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Moorfield Nanotechnology根据客户超大样品的需求推出了nanoPVD-S10A-WA超大面积高质量薄膜磁控溅射系统。该型号是nanoPVD-S10A的拓展型号，用于制备超大尺寸的样品，大样品可达8英寸。
该系统基于nanoPVD-S10A的成熟设计和性能，在相同腔体的设计基础上对nanoPVD-S10A进行了调整，使溅射源正对衬底。结合衬底旋转，即使在生长8英寸的超大样品时也可获得很高的样品均匀度。与nanoPVD-S10A一样，溅射源采用水冷式设计，可以持续高功率运行，可实现共溅射等功能。nanoPVD-S10-WA是一款接受半定制化的设备，如有特殊需求请联系我们进行详细讨论。
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主要特点： ◎ 可制备8英寸超大样品 ◎ 水冷式2英寸标准溅射源 ◎ MFC流量计高精度控制过程气体 ◎ 直流/交流溅射电源可选 ◎ 全自动触屏控制 ◎ 可设定、存储多个生长程序 ◎ 本底真空<5×10-7mbar ◎ 易于维护 ◎ 全面安全性设计 ◎ 兼容超净间 ◎ 系统性能稳定
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选件： ◎ 机械泵类型可选 ◎ 腔体快速充气 ◎ 自动高分辨压力控制 ◎ 增加过程气体 ◎ 升级双溅射源 ◎ DC/RF电源可选 ◎ 溅射电源切换 ◎ 共溅射方案 ◎ 晶振膜厚测量系统 |
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